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日本進(jìn)口大塚的橢圓偏光測量儀FE-5000S(PXM28)

日期:2024-10-23 04:36
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摘要:使用環(huán)境 設(shè)置場所:屋內(nèi)設(shè)置(避免太陽光直射) 周圍環(huán)境:無傾斜,異常震動(dòng),灰塵,有害氣體,溫度變動(dòng), 電源變動(dòng),磁場噪音,不會(huì)接觸液體,沒有起火 物質(zhì)。 高度界限:標(biāo)準(zhǔn)高度2000m 周圍溫度:20-30℃(無劇烈的溫度變化) 相對濕度:30-80%(無結(jié)露) 噪 音:60dB以下(距離設(shè)備測量1m的距離測量)

日本進(jìn)口大塚的橢圓偏光量測儀FE-5000S(PXM28)

顯微分光膜厚儀




對應(yīng)多種膜的解析計(jì)算方法

● *小二乘法
通過優(yōu)良反射率測量和薄膜模擬的fitting,可解析目標(biāo)膜的膜厚和
光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))。
也可對應(yīng)層疊結(jié)構(gòu)


● *適合法
在設(shè)定的膜厚范圍內(nèi),進(jìn)行薄膜模擬,可自動(dòng)演算光譜形狀*高
膜厚值的手法。可對應(yīng)多層level的層疊結(jié)構(gòu)。


● 周期解析(FFT法)
通過傅里葉變換計(jì)算光干涉的光譜波形的周期性,可自動(dòng)演算膜厚的
膜厚值。即便沒有基板信息,也可解析,此外,還能對應(yīng)多層level
的層疊結(jié)構(gòu)


● P(V 峰谷法)
以光干涉法為原理的解析手法。通過輸入單層膜的折射率,即便沒
基板信息,可以自動(dòng)演算膜厚值。
可在測量的反射率的峰值(谷值)在2個(gè)以上時(shí)使用。





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