山田光學YAMADA半導體用鹵素光源照明裝置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 特點介紹

高亮度鹵素光源裝置在半導體芯片及液晶基板加工

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導體晶片及液晶基板加工中*費人工的成形製品表面的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。

用于檢測各種缺陷的宏觀觀察用照明裝置檢查燈。

山田光學YAMADA半導體用鹵素光源照明裝置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 規(guī)格參數(shù)

1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。

2、光源采用鹵素燈，色溫高，照度不均小，光線極其穩(wěn)定銳利。

3、采用冷鏡，熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。

4、兩級切換機構(gòu)，一鍵實現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。

YP-150I 照度范圍：30mmφ

YP-250I 照度范圍：60mmφ

超精密平面檢測的理想選擇！通過驚人的照明，可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置，用于檢測

*終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導體加工過程中勞動強度的一種。晶圓和液晶板

另外，由于采用鹵素燈作為光源，色溫高，

光照不均勻的情況很少，光照***穩(wěn)定銳利。

姊妹機“YP-250I"也可用于 8 英寸。

光源采用鹵素燈

■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

請用于超精密平面檢測！