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產(chǎn)品列表
  • RIGAKU理學高通量和高分辨率X射線系統(tǒng) RIGAKU理學高通量和高分辨率X射線系統(tǒng)XRTmicron,該地形測量系統(tǒng)通過采用新型高亮度微 X 射線光源、特殊的 X 射線鏡光學系統(tǒng)和高分辨率、高分辨率 X 射線相機,與傳統(tǒng)系統(tǒng)相比,可以將測量時間縮短約一個數(shù)量級。 可以自動執(zhí)行從樣品設置到測量的所有作。 查看詳情
  • RIGAKU理學射線衍射 XRD 系統(tǒng) RIGAKU理學射線衍射 XRD 系統(tǒng)TFXRD-200,是一款專用的 XRD 工具,用于測量大直徑晶圓上的薄膜,測量薄膜厚度、結晶度、復合材料的組成比、外延片晶格弛豫等。 查看詳情
  • RIGAKU理學射線衍射 XRD 系統(tǒng) RIGAKU理學射線衍射 XRD 系統(tǒng)TFXRD-300,是一款專用的 XRD 工具,用于測量大直徑晶圓上的薄膜,測量薄膜厚度、結晶度、復合材料的組成比、外延片晶格弛豫等。 查看詳情
  • RIGAKU理學在線 HRXRD/XRR 測量工具 RIGAKU理學在線 HRXRD/XRR 測量工具XTRAIA XD-3200,是一款多用途 X 射線計量工具,可在大批量生產(chǎn)中對橡皮布和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進行無損分析,吞吐量高。測量結果包括 X 射線反射 (XRR) 的薄膜厚度、密度和粗糙度,以及高分辨率 XRD (HRXRD) 的外延膜厚度、成分、應變、晶格松弛和結晶度。 查看詳情
  • RIGAKU理學在線 HRXRD/XRR 測量工具 RIGAKU理學在線 HRXRD/XRR 測量工具XTRAIA XD-3300,是一款多用途 X 射線計量工具,可在大規(guī)模生產(chǎn)中以高通量對橡皮和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進行無損分析。測量結果包括 X 射線反射 (XRR) 的薄膜厚度、密度和粗糙度,以及高分辨率 XRD (HRXRD) 的外延膜厚度、成分、應變、晶格松弛和結晶度。 查看詳情
  • RIGAKU理學在線X射線膠片密度監(jiān)測器 RIGAKU理學在線X射線膠片密度監(jiān)測器XTRAIA MF-3000, 查看詳情
  • RIGAKU理學在線X射線膠片厚度監(jiān)測器 RIGAKU理學在線X射線膠片厚度監(jiān)測器XTRAIA MF-3000, 查看詳情
  • RIGAKU理學XRREDXRF和XRD 測量工具 RIGAKU理學XRREDXRF和XRD 測量工具XTRAIA MF-2000,對*大 200 mm 的晶圓進行成分和厚度 (EDXRF)、厚度、密度和粗糙度 (XRR) 的高精度測量,以檢測光學或超聲技術無法實現(xiàn)的無圖案和圖案薄膜。 這種先進的 X 射線計量工具使產(chǎn)品和毯狀晶圓的高通量測量變得實用,從超薄單層薄膜到多層層壓板。 查看詳情
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