在諸如IPA、純水、藥水等的半導(dǎo)體制造工序中

來自1ml / min的微流量測(cè)量

通過數(shù)字信號(hào)處理的微流量高精度測(cè)定

傳感器部分是流體非接觸結(jié)構(gòu)

廣泛的租賃

μf - 300s(傳感器分離型)產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)為μlf - 300s +μlt - 8i(1 / 8)或μlf - 300s +μl - 4i(1 / 4)

超音波

測(cè)定液體純水，各種藥水

*水以外的液體的情況請(qǐng)事先確認(rèn)。

適應(yīng)流體溫度范圍15℃~ 80℃

* 60℃以上使用時(shí),請(qǐng)事先確認(rèn)您

流體壓力：0.5 mpa以下

流體黏度：100 mm ^ 2 / sec以下

流量范圍

0 ml/min ~ 1000ml / min(μlf - 300s +μlt - 8i)

0 ml/min ~ 4000 ml/ min(μlf - 300s +μlt - 4i)

測(cè)量精度±0.5%(1 / 8:200 ~ 1000ml/ min條件:室溫，恒溫的水)

±1ml/ min(1 / 8):0 ~ 199ml/min

±0.5%(1 / 4):800 ~ 4000ml/ min條件:室溫，恒溫的水

±4ml/ min(1 / 4):0 ~ 799ml/min

反復(fù)性±0 . 2 %(純液溫±0 . 5℃,30秒平均值)

電源dc 24v±10%

耗電3.6 w以下

重量轉(zhuǎn)換器240 g，檢測(cè)單元70g

尺寸w x h x d(mm)轉(zhuǎn)換器97 x 49 x 127

檢測(cè)部90x25x 20(不包括內(nèi)線)

檢測(cè)部

軟管材料PFA(氟樹脂)

內(nèi)胎直徑1 / 8寸:3.17 mm,id:2.17 mm,1 / 4寸OD:6.35 mm,id:4.35 mm

結(jié)構(gòu)上的ip65

附屬電纜5米，連接器連接

輸入/輸出部分

數(shù)字輸出4線式- 422,4線式r -485

模擬輸出4 - 20 MA(瞬間流量),負(fù)荷抵抗500Ω以下

計(jì)算脈沖輸出1ch(開放庫(kù)塔)

警報(bào)輸出1ch(開放的庫(kù)拉)

接點(diǎn)輸入1ch(零流量設(shè)定或累計(jì)**)

鍵入4輸入按鈕