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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本USHIO牛尾半導(dǎo)體制程用UV固化設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品廠商：USHIO牛尾
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
外線照射設(shè)備在LSI制造生產(chǎn)線和內(nèi)存制造生產(chǎn)線
詳情介紹：

日本USHIO牛尾半導(dǎo)體制程用UV固化設(shè)備

  • 主要用途

  • 驅(qū)動(dòng)蝕刻時(shí)的耐等離子性的提高

  • 去除電荷

  • 離子注入時(shí)的固體脫氣及燒結(jié)

  • 絕緣膜的形成

  • 化合物半導(dǎo)體脫離工序

  • CCD、CMOS截圖

  • 提高濕蝕刻性&鍍金性

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