• 高照度、均一度照射
• 初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均勻度保證在±10%。

• 采用依據(jù)SEMI規(guī)定之裝載接口的EFEM（φ12寸裝置）
• φ12寸用裝置、采用裝載接口(依據(jù)SEMI) 的EFEM、
• 以及搬運(yùn)系統(tǒng) 采用無(wú)塵快速的2Finger搬運(yùn)機(jī)器人、以達(dá)到高Throughput。

• 采用WindowsNT PC的高操作性與以GEM300為準(zhǔn)（φ12寸裝置）
• φ12寸用裝置采用Windows NT PC，達(dá)到**的操作性。亦符合GEM300規(guī)定。

• 燈管裝置更換容易
• 燈管更換時(shí)無(wú)須調(diào)整，并降低裝置的停機(jī)時(shí)間。

• 配備照度一定方式與積累計(jì)算曝光方式（φ12寸裝置：選購(gòu)配備）
• 使用照度一定方式、并積累計(jì)算曝光方式、達(dá)到制程的穩(wěn)定化與一致化。

• 豐富的產(chǎn)品系列
• 對(duì)應(yīng)φ6寸用裝置（可與φ5寸以下共用）、φ8寸用裝置（ 可與φ6寸以下共用）、
• 以及φ12寸專用裝置等所有工具匣。此外，亦備有準(zhǔn)分子(Excimer)燈的φ8寸用裝置。

2Finger搬運(yùn)機(jī)器人

燈光裝置

• 提高乾蝕時(shí)的耐電漿性

• 離子注入時(shí)的阻劑脫氣及燒入

• 電荷消除與消除疲乏

• Low-k Cure

• 薄膜磁頭之層間絕緣膜形成

• 化合物半導(dǎo)體的Lift-Off工程

• 表面改質(zhì)

• CCD與CMOS影像儀的去色(bleaching)等