產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
該裝置是帶有磁控管目標的金屬涂層裝置。 它用于 8 英寸晶圓等大面積樣品和大量樣品的同步處理。
MSP-8in的目標電極沿目標金屬表面形成多同心磁場，通過將電子捕獲在該磁場中，提高等離子體離子密度以濺射目標金屬。 磁場的強度結(jié)構(gòu)使得粘附的金屬膜的厚度從目標的中心到外圍是均勻的。
詳情介紹：
主要產(chǎn)品規(guī)格
| 項目 | 規(guī)范 |
| 權(quán)力 | AC100V（單相100V）15A 3芯插頭，帶地線 |
| 設(shè)備大小 |
寬 450 mm，深 400 mm，高 372 mm （設(shè)備重量：36.9 kg） |
| 旋轉(zhuǎn)泵 |
寬234mm，深500mm，高264mm G-101D （重量25kg） |
| 涂裝室尺寸 | 內(nèi)徑230mm，高60mm |
| 目標電極尺寸 | 直徑 200mm |
| 試樣載物臺尺寸 | 直徑 210mm |
| *大樣品尺寸（晶圓） | 直徑 200mm |
| 涂層不均勻 | ± 10% 以下 |
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