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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:SHINKUU真空設(shè)備自動(dòng)涂裝功能凱焊機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):MSP-12in
  • 產(chǎn)品廠商:SHINKUU真空設(shè)備
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
配備大面積樣品臺(tái),支持12英寸晶圓。 磁控管系統(tǒng)用于減少涂層電壓為500V或更低時(shí)的離子損傷。 自動(dòng)涂裝功能從脫氣到常壓氣體引入和涂裝都是全自動(dòng)的。 它配備了一個(gè)向前滑動(dòng)的樣品臺(tái),便于裝卸樣品。 通過附著Ag靶材,可以很容易地對(duì)透明薄膜進(jìn)行光澤處理。
詳情介紹:

根據(jù)涂層面積的差異,可提供 12 英寸型和 12S 型!

MSP-12in

目標(biāo)尺寸的直徑為 12 英寸(直徑 300 毫米),可均勻地覆蓋整個(gè) 12 英寸晶圓。 它可用于涂布大面積和涂布大量樣品。

MSP-12S
目標(biāo)電極的直徑為 50 mm。 當(dāng)您想要涂覆大面積樣品的一部分(例如 12 英寸晶圓)時(shí),可移動(dòng)目標(biāo)非常有用。 通過減小電極的尺寸,可以降低運(yùn)行成本。 也不需要裂解大型晶圓。

主要產(chǎn)品規(guī)格

項(xiàng)目 規(guī)范
權(quán)力 帶地線的單相 AC100V15A 3 芯插頭
設(shè)備大小 寬 450 mm,深 440 mm,高 427 mm
(設(shè)備重量 30 kg)
旋轉(zhuǎn)泵 G-101D 寬 234 毫米,深 500 毫米,高 264 毫米,重量
25Kg
涂裝室尺寸 內(nèi)徑330mm,高80mm
目標(biāo)電極尺寸 直徑 300mm
樣品臺(tái) 直徑 300mm
有關(guān)氬氣設(shè)備的信息

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