產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
配備大面積樣品臺(tái)，支持12英寸晶圓。 磁控管系統(tǒng)用于減少涂層電壓為500V或更低時(shí)的離子損傷。
自動(dòng)涂裝功能從脫氣到常壓氣體引入和涂裝都是全自動(dòng)的。
它配備了一個(gè)向前滑動(dòng)的樣品臺(tái)，便于裝卸樣品。 通過(guò)附著Ag靶材，可以很容易地對(duì)透明薄膜進(jìn)行光澤處理。
詳情介紹：
根據(jù)涂層面積的差異，可提供 12 英寸型和 12S 型！
MSP-12in
目標(biāo)尺寸的直徑為 12 英寸（直徑 300 毫米），可均勻地覆蓋整個(gè) 12 英寸晶圓。 它可用于涂布大面積和涂布大量樣品。
MSP-12S
目標(biāo)電極的直徑為 50 mm。 當(dāng)您想要涂覆大面積樣品的一部分（例如 12 英寸晶圓）時(shí)，可移動(dòng)目標(biāo)非常有用。 通過(guò)減小電極的尺寸，可以降低運(yùn)行成本。 也不需要裂解大型晶圓。
主要產(chǎn)品規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 規(guī)范 |
| 權(quán)力 | 帶地線的單相 AC100V15A 3 芯插頭 |
| 設(shè)備大小 |
寬 450 mm，深 440 mm，高 427 mm （設(shè)備重量 30 kg） |
| 旋轉(zhuǎn)泵 |
G-101D 寬 234 毫米，深 500 毫米，高 264 毫米，重量 25Kg |
| 涂裝室尺寸 | 內(nèi)徑330mm，高80mm |
| 目標(biāo)電極尺寸 | 直徑 300mm |
| 樣品臺(tái) | 直徑 300mm |
AR氣體的制備
氬氣介紹 一些真空設(shè)備設(shè)備需要引入氬氣作為大氣氣體，而其他設(shè)備則被推薦使用。 在氣體引入設(shè)備中，它是客戶準(zhǔn)備的產(chǎn)品，因此，如果您能參考以下內(nèi)容進(jìn)行準(zhǔn)備，我們將不勝感激。
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