關(guān)于TEM Holder
配備 4 個(gè) TEM 支架端口。 創(chuàng)建一個(gè)與您的支架相匹配的端口。 可以處理TEM制造商的特殊支架。
得益于獨(dú)立的排氣系統(tǒng)，當(dāng)更換支架時(shí)，其他存儲(chǔ)支架不會(huì)暴露在大氣中。 帶有玻璃窗，透過該窗口可以看到每個(gè)支架樣品（NW40 法蘭）
操作
配備觸摸屏，操作方便。 配備自動(dòng)排氣排序和程序控制聯(lián)鎖控制。
當(dāng)泵計(jì)劃進(jìn)行維護(hù)時(shí)，我們將通過在屏幕上顯示來通知您。
主要產(chǎn)品規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 規(guī)范 |
| 權(quán)力 | AC100V、10A。 使用帶地線的 3 芯插頭。 |
| 設(shè)備大小 |
寬度 585 mm，深度 555 mm，高度 392 mm（深度尺寸因 TEM 支架而異） （設(shè)備重量：36 kg） |
| 排氣系統(tǒng) |
20L/min隔膜泵（外置） 67L /sec渦輪分子泵（內(nèi)置設(shè)備） |
| *大真空度 | 5x10-4Pa以下 |
| 真空度測量 | 全范圍真空計(jì) |
燈加熱裝置
加熱方式：采用帶凹面鏡的鹵素?zé)艏訜帷?br _istranslated="1">
散熱方式：風(fēng)機(jī)風(fēng)冷散熱。
溫度控制：熱電偶測溫PID控制，帶電子定時(shí)開關(guān)。
控制電源尺寸：535 W x 550D x 185 H
等離子清洗裝置
電源：AC100V（單相100V）3A，3芯插頭，帶地線
清洗目標(biāo)：去除污染物，防止電子束照射沉積的粘附。
氣體介紹：針閥手動(dòng)調(diào)節(jié)，電磁閥為氣體推桿ON/OFF方式
等離子氣體：空氣、氬氣、氬氣/氧氣等。 **
措施： 每個(gè)系統(tǒng)的
保險(xiǎn)絲 等離子電源：頻率 13.56 MHz，輸出 0 ~ 50 W 可變，輸出指示 帶
等離子點(diǎn)火指示燈的數(shù)字儀表，等離子照射時(shí)間控制電子
定時(shí)器：0~1,2,3,12,30/秒，分鐘，小時(shí) 各自由設(shè)置.電子定時(shí)器
等離子電源尺寸：250W x 300D x 135H 重量 9Kg
等離子噴槍尺寸：70mmΦ x 220L 等離子噴槍安裝 NW-40
氣體：0.08~0.1 MPa，管道 1/4“ Swagelock（氣瓶和減壓閥由用戶準(zhǔn)備）
* 由于 TEM 支架的形狀，燈加熱和等離子清洗裝置端口的使用受到限制。
特別是，不可能共享來自不同制造商的持有人。
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
