產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
樣品制備的下一步從清潔的高真空開始。
這是一種使用渦輪分子泵 （TMP） 排氣系統(tǒng)的清潔高真空沉積系統(tǒng)。 高真空有助于提高薄膜純度和密度。
如果按下觸摸面板上的 EVAC START 按鈕，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)執(zhí)行從預(yù)排氣到高真空排氣的狀態(tài)。 它是一種**設(shè)計(jì)，可通過觸摸屏+程序控制防止操作錯(cuò)誤。
詳情介紹：
VE-2050 提供各種可選附件。 我們還接受根據(jù)您的研究目的對(duì)功能進(jìn)行額外修改。
特征
加熱器電源：*大電流80A（使用標(biāo)準(zhǔn)船時(shí)），電流表指示。
?真空排氣系統(tǒng)是由80L/sec TMP+50L/min RP和不需要冷卻水的全電磁閥組成的全自動(dòng)排氣系統(tǒng)。
? 配備觸摸屏操作無法通過錯(cuò)誤程序操作的**功能。
TEM和SEM擠壓的烘烤也可以在短時(shí)間內(nèi)完成，節(jié)省時(shí)間。
?金屬涂層和陰影是超細(xì)顆粒沉積，提高分辨率。
?碳涂層也是一種堅(jiān)固而致密的氣相沉積膜。 它有效地增強(qiáng)了碳并支持了薄膜的形成。
在停電的情況下，所有閥門都會(huì)自動(dòng)關(guān)閉并保持真空。 只有旋轉(zhuǎn)泵會(huì)自動(dòng)泄漏。
恢復(fù)斷電后，返回初始屏幕。
輸入開關(guān)是電路保護(hù)器。 如果設(shè)備中發(fā)生過電流，它將自動(dòng)關(guān)閉。
主要產(chǎn)品規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 規(guī)范 |
| 權(quán)力 | AC100V（單相100V15A） |
| 設(shè)備大小 |
寬度 534 mm，深度 675 mm，高度 1134 mm （設(shè)備重量 80 kg） |
| 旋轉(zhuǎn)泵（內(nèi)置裝置） | 抽速：50l/min（G-50DA） |
| 渦輪泵（內(nèi)置裝置） | 抽速：67升/秒 |
| 真空度測量 | 全范圍真空計(jì) |
| 樣品臺(tái) | 直徑 58mm 水平樣品架（標(biāo)準(zhǔn)安裝） |
| 真空室 |
200mm 內(nèi)徑 x 248mm 高度 配備 ICF70 服務(wù)端口。 |
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