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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：JASCO日本分光 紅外分光光度計

  • 產(chǎn)品型號：FT/IR-6000
  • 產(chǎn)品廠商：JASCO日本分光
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
晶圓中含有的雜質(zhì)氧、碳、氮對晶圓的性能有重大影響。傅里葉變換紅外分光光度計晶圓反射率測量系統(tǒng)是通過在FT/IR樣品室中安裝專用臺，可以對*大12英寸晶圓進行透射和反射測量的系統(tǒng)。也可以使用專用軟件執(zhí)行映射測量。
詳情介紹：
無損、非接觸式評估
由于它使用紅外光，因此可以非破壞性且非接觸地評估樣品。
高精度和重復(fù)性
充分利用JASCO的FT/IR功能，可以進行高精度、高再現(xiàn)性的測量。
兼容各種標(biāo)準(zhǔn)
兼容JEITA、JEIDA等各種標(biāo)準(zhǔn)。
硅中的碳濃度：JEITA-EM-3503
硅中的氧濃度：JEIDA-61-2000
硅中的氮濃度：JEITA-EM-3512
非晶硅中的氫濃度
氮化硅膜中的氫濃度

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