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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ESPEC埃斯佩克 大型潔凈烤箱

  • 產(chǎn)品型號：LTM-2201052
  • 產(chǎn)品廠商：ESPEC埃斯佩克
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
隨著電子元件變得越來越小，熱處理對清潔環(huán)境的要求越來越高。例如，過去不是什么問題的灰塵，對日益小型化的電子元件的可靠性產(chǎn)生了重大影響，而在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，甚至生產(chǎn)過程中使用的夾具也要求清潔。 。 它來了。 “大型潔凈烤箱1500”滿足了這一需求。可以一次對大量樣品進行熱處理，滿足了日益增長的“在清潔環(huán)境中進行熱處理”的需求。
詳情介紹：

此外，由于需要降低半導(dǎo)體制造成本，因此需要更大的潔凈烤箱。如果晶圓尺寸從200毫米增加到300毫米，表面積將增加2.25倍，可切割的芯片數(shù)量大約是原來的兩倍。由于無論尺寸大小，烘烤時間都是相同的，因此產(chǎn)量也會增加一倍。當然，這個過程需要更大的烤箱。

兼容大量樣品和較大樣品
內(nèi)部方法已擴展到處理大批量樣品處理以及較大晶圓夾具和石英管的干燥和熱處理。而且該裝置為立式，安裝空間小。

兼容大量樣品和較大樣品

該室內(nèi)部寬敞，可容納許多大型樣品。 / 批量加工減少了干燥和熱處理所需的時間。 ○ 有望增加產(chǎn)量并降低成本。 ｜PVC-331
各型號尺寸比較
清潔度等級5
（相當于FED-STD-209D等級100）/均勻熱處理
采用HEPA過濾器，內(nèi)部清潔度達到5級（相當于FED-STD-209D 100級）。此外，前吹水平層流循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)使高溫空氣在腔體內(nèi)均勻循環(huán)，有助于提高產(chǎn)品良率。 （見右圖）
可在潔凈室中操作（可選）
連接排氣管道，將試驗室內(nèi)的熱空氣通過排熱連接口排出，烘箱機械內(nèi)產(chǎn)生的灰塵通過總排氣連接口排出，防止灰塵飛散。 （客戶須提供排氣管）
前吹式水平層流循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)
前吹式水平層流循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)
主要規(guī)格
模型 LTM-2201052
*大電壓 AC200V 3φ3W 50/60Hz
*大消費電力 9.0kVA
性能 溫度范圍 (環(huán)境溫度+60)至+200℃
溫度波動范圍 ±2.0度
溫度分布 ＋100℃時±3.0℃
升溫時間 60分鐘內(nèi)從環(huán)境溫度升至+100℃
清潔度 溫度穩(wěn)定時為 5 級（相當于 FED-STD-209D 100 級）
（門打開時無法保持 100 級清潔度）
尺寸 內(nèi)部法 寬1000mm×高1500mm×深1000mm
外法 W1200mm x H2250mm x D1460mm（不包括突出部分）
容量 1500L
重量 600公斤
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