LINTEC林泰克 DeviceNet® 質(zhì)量流量控制器  MC-5200L
LINTEC林泰克 DeviceNet® 質(zhì)量流量控制器  MC-5200L

DeviceNet質(zhì)量流量控制器MC-5000L
DeviceNet通訊接口專用質(zhì)量流量控制器。
*新的半導(dǎo)體制造設(shè)備上所搭載的控制器不再采用模擬通訊，而是采用開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)通訊技術(shù)，以達(dá)到高速控制和簡化布線的目的。
在LINTEC，我們**于行業(yè)開發(fā)了符合SEMI認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的DeviceNet?通訊專用質(zhì)量流量控制器MC-5000L。該系列產(chǎn)品配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器，還支持液化氣體等多種選配規(guī)格。
特點
精度范圍±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封件
無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器
DeviceNet?通訊
選配規(guī)格
小流量F.S.
液化氣體
大流量范圍
使用范例
配線簡化，節(jié)省成本
越來越多的半導(dǎo)體設(shè)備采用現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)進行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉(zhuǎn)換器或IO板，具有成本低，配線少的特點。
簡 介
MC-5000L系列主要是根據(jù) SEMI標(biāo)準(zhǔn)所制成的 DeviceNet 通訊接口質(zhì)量流量控制器特點
通訊接口采用傳感器驅(qū)動網(wǎng)絡(luò) DeviceNet (ODVA)。(ODVA SEMI SIG MFC Profile)可依需求選擇機臺上側(cè)或旁側(cè)的通訊接口插座搭配 LINTEC **的環(huán)境溫度補償式質(zhì)流傳感器內(nèi)置微處理器提高處理效能
控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
采用高速度，高性能的壓電控制閥
使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性