-
日本USHIO牛尾分割投影光刻機 Ushio一直致力于為服務器、PC、智能手機、平板電腦等便攜設備提供*先進的封裝應用工藝。 Ushio在長年培養(yǎng)的光源·光學技術上采用獨自的大面積投影透鏡技術，是面向采用與面板尺寸對應的工件臺面的封裝基板的步進式投影光刻設備。 在實現*頂端封裝基板所要求的高解像性和重疊精度的同時，實現高生產性。 查看詳情
-
日本USHIO牛尾投影式光刻機 牛尾長年開發(fā)經驗，集光源?光學技術，采用獨自的大面積投影鏡頭技術研發(fā)的背投式對準光刻設備。 到8英寸為止的晶片可在非接觸下模式下也可以一起對準光刻曝光。 適用于深度焦點非平面晶片，實現接近式曝光為數不多的高生產性、高成品率。 查看詳情
-
日本USHIO牛尾曬版機 集結實現高精度的特征和性能 搭載真空系統(tǒng)，減少屏幕的歪斜 特別設計的光學系統(tǒng)，提高配合度 采用平行光系統(tǒng)，提高寸法精準度 控制熱量對于屏幕的影響，采用排熱設計 搭載高精度的積算光量計，提高反復曝光的安定化 通過獨自的真空系統(tǒng)，小體型也可以完成大尺寸的曝光 查看詳情
